电子特气在半导体行业的应用——集成电路领域

什么是电子特气？ 电子特气是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，应用范围十分广泛。按其本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。...

半导体制造中对特种气体的要求

随着半导体技术过渡到 5 纳米以下的先进节点，对工艺气体精度、可重复性和无污染气体输送的要求变得至关重要。这些气体中的一些具有很强的腐蚀性，而另一些则具有很高的反应性。必须仔细考虑这些...